薄膜物性综合分析仪，研究在材料、化学、物理方面的应用，对于其待测样品的监测分析和综合评估，用于能够快速而方便的同步测量薄膜的多种热物性参数。由于材料成分复杂多变，薄膜材料导热和导电差别很大，在具体分析时必须选择好分析方法等。广泛应用于材料科学、环境科学、钢铁冶金、化学化工等各个领域的科研、教学、生产等领域。
仪器参数：
1. 测量温度：-170°C 至 + 280°C，温度控制精度：0.1°C;
2. 测量方式：一体机同步测量多项参数;
3. 测量参数：可以测量电阻率、导热系数、比热;
4. 样品厚度：5 nm-25μm（依据样品）;
5. 样品制备方式：CVD，PVD，溅射，滴涂，旋涂，ALD等;
6. 真空度：10E-4mbar;
7. 升温速率：0.1-20°C/min;
8. 测量原理：3ω法 及van-der-pauw（范德堡）法;3ω法：测导热系数、比热。
Van-der-pauw(范德堡)法，测电阻率，后期可选拓展测霍尔系数、载流子浓度、迁移率;
9. 测量范围：导热系数：0.05- 200 W/m∙K
